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H94-35型(LED)4″双面大奖娱乐手机版首页

更新:2017-1-9 15:25:49      点击:
  • 品牌:   SVC
  • 型号:   H94-35型
  • 市场价:    元
  • 优惠价:    元 (已有 1 人购买)
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产品介绍
 
主要用途:
    主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件、薄膜电路的研制和生产。

工作方式:
    本机采用版—版对准双面同时曝光方式,亦可用于大奖娱乐88pt88官网曝光。

主要构成:
    主要由高精度对准工作台、Z轴升降机构、双视场CCD显微显示系统)、二台多点光源蝇眼式曝光头、大奖娱乐手机网址管路系统、气路系统、直联式大奖娱乐手机网址泵、防震工作台等组成。
  CCD显微系统|X、Y、Q对准工作台|Z轴升降机构

主要功能特点  1.曝光类型:大奖娱乐88pt88官网对准双面一次曝光; 2.曝光面积:110×110mm 3.曝光照度不均匀性:3% 4.曝光强度:≥40mw/cm2可调; 5.紫外光束角:≤3˚ 6.紫外光中心波长:365nm404nm435nm可选: 7.紫外光源寿命:≥2万小时; 8.曝光分辨率:1.5μm 9.曝光模式:双面同时曝光; 10.对准精度:对准精度6μm 11对准范围:X:±5mm   Y:±5mm 12.旋转范围:Q向旋转调节≥±5°; 13.最大升降:≥16mm 14.密着曝光方式:密着曝光可实现硬接触、软接触和微力接触曝光; 15.显微系统:双视场CCD系统,显微镜45X300X连续变倍,显微镜扫描范围:X:±40mmY:±35mm;双物镜距离可调范围:11mm100mm,计算机图像处理系统,19″液晶监视器; 16.掩模版尺寸:3″×3″、4″×4″、5″×5″; 17.基片尺寸:φ2″、φ3″、φ4″; 18.基片厚度:≤5 mm 19.曝光定时:0999.9秒可调; 20. 电源:单相AC220V  50HZ ,功耗≤1.5KW 21.洁净压缩空气压力:≥0.4MPa 22.大奖娱乐手机网址度:-0.07MPa~-0.09MPa 23.尺寸: 985mm(长)×680mm(宽)×1800mm(高); 24.重量:约190Kg

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